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投影仪配件
投影机DMD芯片
投影机DMD芯片DMD精微反射镜面是一种整合的爱普生投影机微机电上层结构电路单元 (MEMS superstructure cell),它是利用CMOS SRAM记忆晶胞所制 成。DMD上层结构的制造是从 完整CMOS内存电路开始,再透过光罩层的使用,制造出铝金属层和硬化光阻层(hardened photoresist) 交

DMD芯片显示原理的介绍                             

DMD精微反射镜面是一种整合的爱普生投影机微机电上层结构电路单元 (MEMS superstructure cell),它是利用CMOS SRAM记忆晶胞所制 成。DMD上层结构的制造是从 完整CMOS内存电路开始,再透过光罩层的使用,制造出铝金属层和硬化光阻层(hardened photoresist) 交替的上层结构,铝金属层包括地址电极 (address electrode)、绞链(hinge)、轭 (yoke) 和反射镜,硬化光阻层则 作为牺牲层 (sacrificial layer),用来形成两个空气间 (air gaps)。铝金属会经过溅镀沉积 (sputter-deposited) 以及电浆蚀刻 (plasma-etched)处理,牺牲层则会经过电浆去灰 (plasma-ashed) 处理,以便制造出层间的空气间隙  每个微反射镜都能将光线从两个方向反射出去,实际反射方向则视底层记忆晶胞的状态而定;当记忆晶胞处于「ON」状态时,反射镜会旋转至+12度,记忆晶胞处于「OFF」状态,反射镜会旋转至-12度。只要结合DMD以及适当光源和投影光学系统,反射镜就会把入射光反射进入或是离开投影镜头的透光孔,使得「ON」状态的反射镜看起来非常明亮,「OFF」状态的反射镜看起来就很黑暗。NEC投影机利用二位脉冲宽度调变可以得到灰阶效果,如果使用固定式或旋转式彩色滤镜,再搭配一颗或三颗DMD芯片, 即可得到彩色显示效果。DMD的输入是由电流代表的电子字符,输出则是光学字符,这种光调变或开关技术又称为二位脉冲宽度调变 (binary pulsewidth  modulation),它会把8位字符送至DMD的每个数字光开关输入端,产生28256个灰阶。

 

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